深圳新聞網(wǎng)2025年11月13日訊（記者 胡津瑋）11月12日，全國產(chǎn)業(yè)計量融合創(chuàng)新發(fā)展會議在湖南衡陽召開。會議現(xiàn)場發(fā)布了市場監(jiān)管總局和工信部聯(lián)合開展的“計量支撐產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展2025年度十大重點項目”，深圳檢測院牽頭承擔的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”入選十大重點項目之一。

瞄準“卡脖子”難題 攻堅納米級精密檢測

高端芯片與集成電路產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的基礎性、先導性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。隨著先進封裝技術發(fā)展，納米級工業(yè)CT成為產(chǎn)品質(zhì)量保障的關鍵檢測裝備。當前，國內(nèi)相關裝備高度依賴進口，國產(chǎn)化裝備空白導致產(chǎn)業(yè)面臨“卡脖子”風險。

深圳檢測院承擔的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”項目，在自主研發(fā)的“平面掃描成像工業(yè)CT設備”基礎上推進。現(xiàn)有設備可在數(shù)秒內(nèi)實現(xiàn)芯片封裝、電路板等產(chǎn)品內(nèi)部三維結(jié)構的快速重建與缺陷識別，最高分辨率達1微米，目前該設備已在多家企業(yè)與科研機構投入應用。為進一步滿足高端芯片微納結(jié)構檢測需求，服務我國高端集成電路與先進封裝產(chǎn)業(yè)，深圳檢測院積極推進“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”。項目將引入AI技術，突破納米級分辨力成像、全自動缺陷識別與智能分析及控制軟件等關鍵技術，研制形成百納米級高分辨工業(yè)CT檢測裝置，同時建立配套計量檢測技術標準及規(guī)范，形成從核心裝備到系統(tǒng)解決方案的全鏈條支撐能力。

全力推進研制 服務新質(zhì)生產(chǎn)力

此次項目入選，標志著深圳檢測院在高端計量裝備領域的研發(fā)能力獲國家認可。下一步，深圳市市場監(jiān)督管理局將指導深圳檢測院加快項目實施，推動裝備工程化與產(chǎn)業(yè)化應用，持續(xù)強化計量檢測對科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級的基礎支撐與戰(zhàn)略引領，為提升國產(chǎn)高端裝備自主創(chuàng)新能力、培育產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力注入強勁動能，以實際行動服務國家戰(zhàn)略，助力經(jīng)濟社會高質(zhì)量發(fā)展。